仪器编号：2112-1

• 仪器名称：冷场发射扫描电镜

• 英文名称：FESEM

• 购置日期：2016/7/28 0:00:00

• 购置价格：3462182.00

• 生产厂家：日立高新技术公司

• 规格编号：SU-8020

• 安置地点：2112



技术指标：二次电子分辨率：1.0nm （加速电压15kV、WD＝4mm）/1.3nm （加速电压1kV、WD＝1.5mm）;放大倍率：20～8000,000(底片输出)/60～2,000,000（显示器输出）;加速电压： 0.1～30kV 连续可调/最大电子束流：不低于2 nA；5轴样品台驱动行程：X:0-50 mm, Y:0-50 mm, Z:1.5-30 mm, T:-5-70°, R: 360°


用途及测试范围：材料表面截面观察，微观形貌表征，元素定性分析